0332<丶`∀´>(´・ω・`)(`ハ´ )さん垢版 | 大砲2023/02/26(日) 10:04:12.09ID:IctQ/7D1 >>293 えっと……FED規格(半導体製造工場だと1〜100)でも、ISO規格(1〜9の9段階、FED規格のクラス100がISO規格の5程度)でも、数字が小さい方が清浄度が高いのでは?