>>598
シリコンに要求される純度とフッ化水素に要求される純度が、ごちゃ混ぜになってないか?

>業界関係者は、「通常、100億分の1から1000億分の1程度の純度なら使うことができる」

1000億分の1・・・もっぱら イレブンナイン (99 .999999999%)と呼ばれるが、これは「シリコン」に要求される話
「フッ化水素」はそこまでは要求されていない

もちろん、イレブンナインのフッ化水素が出来るのならそれが望ましいけど
だからってイレブンナインのフッ化水素じゃなければ使えないって話にはならない

実際、問題になってるフッ化水素はファイブナイン(99.999%)であってイレブンナインではない