>>794
微細化はニコンやキャノンの方が先行しているけどね。
ASMLは生産性に重点を置いているので並列作業の効率が良いというところで、日本製より売れている。
それとASMLが作ってるのは露光装置だけで、それ以外は日本製でレジストも日本製。