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多分、このニュースの続報だから、検査の工程じゃないかと

【韓国】ソウル半導体でサービス業者職員6人が放射線に被曝[08/16]
https://lavender.5ch.net/test/read.cgi/news4plus/1565964650/

>半導体欠陥検査用X線(X-ray)発生装置の動作連動装置を任意解除して被曝事故が発生した