>>193
ケーブルの漏電やら絶縁不良
チャンバー清掃するときに中に布やティッシュやらを入れて縦ではなく横に回して掃除してるとケーブルがねじ切れる。
俺はそれでケーブルの被覆が切れててエラーでてた。