>>702
超純水とは，超LSIなどの半導体製造工程でシリコンウェハの洗浄や，医薬品の製造などに用いられ，
金属イオンや微生物などの不純物をほとんど含まない，純度100％の理論的に水に限りなく近い高純度の純水のことである